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XY氣浮移動平臺

規(guī)格：XY氣浮移動臺

所屬類型：加工精度測量儀

品牌：北京昌達科技

  • 價格：1
  • 發(fā)布時間：2016/06/04 17:13
  • 數(shù)量：1
  • 所在地：北京 海淀
產(chǎn)品詳情
  • 規(guī)格：XY氣浮移動臺
  • 品牌：北京昌達科技
  • 用途：

精密氣浮運動平臺具有高精度、無摩擦、低污染等特點，在光刻技術(shù)、超精密加工、生物檢測技術(shù)、納米表面形貌測量等領(lǐng)域具有廣泛的應用，是各種領(lǐng)域中精密加工和精密檢測設(shè)備中的重要部件。近年來微電子技術(shù)、信息技術(shù)及生物工程等新興科技領(lǐng)域的發(fā)展。精密氣浮平臺終可達到較高的定位精度和同步精度。靜壓氣浮軸承的主動控制技術(shù)及其在精密氣浮平臺中的應用。采用主動控制技術(shù)調(diào)節(jié)氣浮軸承的供氣壓力控制氣體薄膜的厚度。由此設(shè)計了一種靜壓氣體薄膜驅(qū)動的微動平臺。將主動控制技術(shù)應用于平面精密氣浮運動平臺，可以使工作臺在XY平面運動之外，具備Z方向的微行程精密運動能力。通過主動控制可對工作臺Z方向的位置誤差進行補償，同時也可以實現(xiàn)工作臺在Z方向的精密定位。

電話：135-2189-1075

郵箱：1679057931@

網(wǎng)址：


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