SuperView W1白光干涉儀是一款用于對各種精密器件及材料表面進行亞納米級測量的檢測儀器。它是以白光干涉技術(shù)為原理,結(jié)合精密Z向掃描模塊、3D 建模算法等對器件表面進行非接觸式掃描并建立表面3D圖像,通過系統(tǒng)軟件對器件表面3D圖像進行數(shù)據(jù)處理與分析,并獲取反映器件表面質(zhì)量的2D、3D參數(shù),從而實現(xiàn)器件表面形貌3D測量。
技術(shù)指標
廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造及封裝工藝檢測、3C電子玻璃屏及其精密配件、光學(xué)加工、微納材料及制造、汽車零部件、MEMS器件等超精密加工行業(yè)及航空航天、科研院所等領(lǐng)域中??蓽y各類從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面,從納米到微米級別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等。
提供依據(jù)ISO/ASME/EUR/GBT四大國內(nèi)外標準共計300余種2D、3D參數(shù)作為評價標準。
2D參數(shù)表
3D參數(shù)表
在生產(chǎn)中,微觀上的表面形貌對工程零件的許多技術(shù)性能的評價具有直接的影響,為了能反映零件表面的特征以及衡量表面的質(zhì)量,表面三維微觀形貌的測量就越來越重要。SuperView W1白光干涉儀用白光干涉掃描技術(shù)為基礎(chǔ),用于樣品表面微觀形貌檢測。可以達到納米級的檢測精度,并快速獲得被測工件表面三維形貌和數(shù)據(jù)。
廣泛應(yīng)用于如納米材料、航空航天、半導(dǎo)體等各類精密工件表面質(zhì)量高要求的領(lǐng)域中,可以說只有3d非接觸式光學(xué)輪廓儀才能達到微型范圍內(nèi)重點部位的納米級粗糙度、輪廓等參數(shù)的測量。獲取報價請電議,或者訪問中圖儀器與我們?nèi)〉寐?lián)系。
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